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ICP MS德國斯派克等離子質譜儀
1974年第一臺以德國斯派克等離子質譜儀作為激發光源的ICP發射光譜儀問世。1983年ICP質譜儀開始推出，并很快確立了基市場地位。ICP質譜具有靈敏感度、極少的干憂，使分析結果更為精確，由于ICP質譜的檢出限極低所以，所以儀器需要在潔凈室中動行，以免受環境污染的影響。
SPECTRO MS等離子質譜儀
1974年以電咸耦合等離子體（ICP）作為激發光源的ICP發射光譜儀問世。1983年ICP等離子質譜儀開始推出，并很快確立了基市場地位。ICP質譜具有高的靈敏感度、少的干憂，使分析結果更為精確，由于ICP質譜的檢出限低所以，所以儀器需要在潔凈室中動行，以免受環境污染的影響。

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